X荧光光谱仪可以对样品做定性分析和半定量分析检测，元素周期表上大部分元素均可以检测出，但是如果要做定量分析，需要一定的方法。

       X射线荧光光谱的定量分析往往需要用一组与未知样相同类型的标样以建立校正曲线，这使许多人望而怯步，因为这样的标样有时很难获得。不少送样者则是希望得到各种新材料及使用过程中发生变化的材料的快速成分剖析，或工业废弃物中有害元素的快速测定，他们希望不破坏样品的原始状态而得到近似定量分析的结果。对于完全未知试样，在定量之前也需要其半定量分析的数据，在用X射线荧光光谱进行复杂未知物的物相分析时往往希望知道未知物的成分及大致合量等等，均对X射线荧光光谱的半定量分析提出了强有力的需求。

元素准确分析

       制定定量分析方法基本步骤为：

       （1）根据样品和标样的物理形态和对分析精确与准确度的要求，决定采用何种制样方法。制样方法一经确认，应了解所确认的制样方法的制样误差，制样误差应小于分析方法对精度的要求；

       （2）用标准样品选择分析条件，如X射线管管压、管流、原级谱滤光片、晶体、脉冲高度分析器和测量时间等等；

       （3）制定工作曲线；

       （4）用标准样品验证分析方法可靠性及其分析数据的不确定度，以确认所制定分析方法的适用范围。

       定量分析方法从样品制备角度出发，可分为粉末压片法、熔融法、固体试样法和薄试样法。若按基体校正方法进行划分，则可分为实验校正法、影响系数法和基本参数法，这些方法又可相互渗透。