直读光谱仪配备真空系统，相比非真空型直读光谱仪，其可检测真空紫外光谱区域的元素，解决了碳、硫、磷、砷、硼等元素分析。针对他的检验检测方式，我们来看一下。

       真空直读光谱仪的结构要比非真空直读光谱光复杂，各种光学元件置于真空分光室中这种壳体必须保证在真空度的作用下不变形，相对位置不发生变化；尤其是分光室的结构必须考虑受力均匀，变形小。

       真空室内与真空外部接触的运动零件（如描迹狭缝，石英窗，透镜）要尽量减少，并需要密封材料，以免在抽真空时发生漏气，影响真空度。

真空型直读光谱仪的检验检测

       空气成分主要是由氮、氧、水蒸汽和各种惰性气体组成，其中以前三者含量最高，空气对远紫外光谱的吸收是很强烈的，尤其以氧气的吸收最为严重。

       氧气在远紫外光谱区存在着两个吸收区，第一个吸收区是从195nm开始直到176nm左右。在160-130nm的光谱区氧气基本上是透明的。第二个吸收区是110-130nm或者更短波长，该吸收区的吸收峰处在145nm附近。在吸收峰附近，14微米厚的氧气层在常温常压下能吸收进入其中的一半辐射强度。

       氮气的吸收区是从145nm开始，直到99nm，随后吸收变小，氮气在> 145nm的远紫外光谱区是透明的。

       水蒸汽具有两上吸收区，一个是从178nm开始，另一个是从134nm开始。水蒸气的吸收比氧气弱很多。

       惰性气体的吸收是比较小的，可以忽略不计。根据以上讨论?？梢匀衔掌栽蹲贤夤馄缀臀罩饕【鲇谘跗?，因此工作光谱区域大于160nm的分光室必须保持真空度0.001-0.01mm/ Hg。

       真空直读渎光谱仪的分光系统置于无氧的空间中为此配备了抽气系统，抽气系统由高速泵组成。